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春風吹又生的小韭菜
2023-10-30 10:29:33
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@無名挖掘研究：
10月27日，上海微電子申請光刻投影物鏡的發明專利進入公示期。該專利旨在“降低光刻投影物鏡的設計成本及制造周期，同時提高光刻投影物鏡的像質校正能力，進而提高曝光成像質量，實現更小的曝光分辨率和CDU，相應的，本發明還提供了一種光刻機。 北京時間10月27日上午，彭博社文章《US
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